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반도체 박막 정밀계측 장비 개발 헬리오스, 프리시드 투자 유치_蜘蛛资讯网

헬리오스는 인하대학교 물리학과 유석재 교수가 지난해 12월 창업한 대학 스핀오프 스타트업이다. 유 대표는 인하대 물리학과 연구실에서 다년간 축적한 광학 계측 원천기술을 바탕으로 사업화에 나섰다.헬리오스가 개발 중인 솔루션은 반도체 웨이퍼 위에 쌓이는 박막의 두께를 정밀하게 측정하는 차세대 계측 장비다. 박막에 빛을 비춰 반사된 빛의 변화를 분석하는 방식으로

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发布时间：05:52:11